圧電体素子及びその製造方法並びにインクジェット式記録ヘッド及びインクジェットプリンタ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：稲葉良幸 , 田中克郎 , 大賀眞司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-269188
公開番号（公開出願番号）：特開2001-088301
特許番号：特許第3541877号
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2001年04月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】上部電極と下部電極に挟まれる圧電体膜を備える圧電体素子において、前記圧電体膜は(100)面方位に優先配向処理された多結晶体から構成され、さらに上部電極と下部電極の少なくとも一方が圧電体膜内部に圧縮応力を与える薄膜で構成されていることを特徴とする圧電体素子。

IPC (4件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16 , H01L 41/09

FI (3件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H , H01L 41/08 C

前のページに戻る