特許
J-GLOBAL ID：201103076983779905
波面収差測定用干渉装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三井 和彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-258118
公開番号（公開出願番号）：特開平3-120436
特許番号：特許第2902417号
出願日： 1989年10月02日
公開日（公表日）： 1991年05月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】測定対象となる開口から出射する被測定光束をビームスプリッタで2つの光路に分けて、その一方の光路の光束を物体光束とし、他方の光路の光束を参照光束として、それら2つの光束を重ね合わせて観測面上に干渉縞を形成させ、その干渉縞によって上記被測定光束の波面収差を測定するようにした波面収差測定用干渉装置において、上記一方の光路中に物体光束の進行方向を光軸に対して傾ける手段を設けると共に、物体光束が傾く位置と上記開口とを共役関係とする手段を設け、上記開口と物体光束が傾く位置と観測面の3つの位置がそれぞれ光学的に共役な位置関係になるようにしたことを特徴とする波面収差測定用干渉装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01M 11/02 B
, G01B 11/24 D
