特許

J-GLOBAL ID：201103077005609778

一対の重畳した部材の間に電気的絶縁媒体を設ける方法及び設けた構造体

発明者： スタンレイ・ロバーツ ,  カーター・ウエリング・カンタ
出願人/特許権者： インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン
代理人 (1件)： 合田 潔 (外3名)
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-324166
公開番号（公開出願番号）：特開平2-218150
出願日： 1989年12月15日
公開日（公表日）： 1990年08月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ベース部材を設け、該ベース部材から上方へ延びる複数個の互いに離隔した支持手段を形成し、該支持手段周囲の前記ベース部材に、選択的に除去可能な材料を付着し、前記支持部材及び前記除去可能材料に重畳するキャップ部材を設け、前記キャップ部材または前記ベース部材の少なくとも1つに、前記除去可能材料と連通するアルセス開口手段を設け、ベース部材またはキャップ部材または支持手段のいずれをも顕著に除去することなく、前記アクセス開口を通して前記除去可能材料を除去して、前記ベース部材と前記キャップ部材の間及び前記支持手段の周囲に空間を画定し、その後前記アクセス開口を絶縁材料で閉鎖し、低誘電率の空間を設けるステップからなる、一対の重畳した部材の間に電気的絶縁体を設ける方法。

IPC (2件)：

H01L 21/90 V 7514-4M ,  H01L 21/90 N 7514-4M

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-177943
  
• 特開昭62-181446
  
• 特開昭63-250155