特許

J-GLOBAL ID：201103077232781510

クリーンルーム汚染物質除去システム

発明者： 鈴木 令 ,  梶間 智明 ,  那須原 和良 ,  原田 博司 ,  鈴木 良延 ,  白谷 毅 ,  萩野谷 道雄 ,  関口 猛
出願人/特許権者： 清水建設株式会社
代理人 (7件)： 阿部 龍吉 ,  蛭川 昌信 ,  内田 亘彦 ,  菅井 英雄 ,  青木 健二 ,  韮澤 弘 ,  米澤 明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-095603
公開番号（公開出願番号）：特開2000-033221
特許番号：特許第3941029号
出願日： 1999年04月02日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 クリーンルームの空気中に存在する特有の汚染物質を除去するクリーンルーム汚染物質除去システムであって、 繊維をマット状に加工した複数の湿式汚染物質除去手段と、 前記複数の湿式汚染物質除去手段に上流側及び/又は下流側から液体を噴霧する複数の噴霧ノズルと を多段配置し、クリーンルームの室内空気を吸引し、上流側及び/又は下流側から前記複数の噴霧ノズルにより前記液体を多段噴霧して前記複数の湿式汚染物質除去手段を濡らし汚染物質を含む空気を液体と接触させ汚染物質を除去して清浄化した空気をクリーンルームに循環させるようにしたことを特徴とするクリーンルーム汚染物質除去システム。

IPC (5件)：

B01D 53/14 ( 200 6.01) ,  B01D 47/06 ( 200 6.01) ,  B01D 53/18 ( 200 6.01) ,  F24F 7/06 ( 200 6.01) ,  A61L 9/16 ( 200 6.01)

FI (5件)：

B01D 53/14 C ,  B01D 47/06 A ,  B01D 53/18 E ,  F24F 7/06 C ,  A61L 9/16 Z

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 空気調和機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-009969   出願人：株式会社日立製作所, 日立北海セミコンダクタ株式会社

審査官引用 (1件)

• 空気調和機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-009969   出願人：株式会社日立製作所, 日立北海セミコンダクタ株式会社