特許

J-GLOBAL ID：201103077265756200

ドライエッチング装置

発明者： 上田 哲也 ,  矢野 航作
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-124828
公開番号（公開出願番号）：特開平2-303124
出願日： 1989年05月18日
公開日（公表日）： 1990年12月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板を保持する台と、前記基板及び台が、所定の点を中心に前記基板の表面を円周の接線方向に向けて円運動を行なう機能を有してなるドライエッチング装置

IPC (1件)：

H01L 21/3065

FI (1件)：

H01L 21/302 B