層流流量計

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高野明近 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-025367
公開番号（公開出願番号）：特開2001-215140
特許番号：特許第3329783号
出願日： 2000年02月02日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】多数の細管からなる層流生成用のハニカムパイプと、該ハニカムパイプの上流側の圧力と下流側の圧力との圧力差を検出する差圧センサと、前記細管を被測定流体が流れるのを阻止する詰め物とを有し、該詰め物にて前記細管の所望数の流体の流れを阻止することにより測定レンジを変更するようにした層流流量計において、前記ハニカムパイプの上流側に連結された上流側継手と下流側に連結された下流側継手と、上流側圧力導入パイプが前記上流側継手に連結し下流側圧力導入パイプが前記下流側継手に連結された前記差圧センサとが一体的に形成され、該一体的に形成された部材が層流流量計本体に形成された受け部材に着脱自在に嵌合されていることを特徴とする層流流量計。

IPC (2件)：