特許

J-GLOBAL ID：201103077401646139

水晶振動子湿度センサおよびその改善方法

発明者： 高津 一郎
出願人/特許権者： エヌオーケー株式会社
代理人 (1件)： 吉田 俊夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-254858
公開番号（公開出願番号）：特開平3-175395
特許番号：特許第2870862号
出願日： 1989年09月29日
公開日（公表日）： 1991年07月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】水晶振動子の表面に、アルコキシ基含有有機けい素化合物のプラズマ重合膜を形成せしめてなる水晶振動子湿度センサ。

IPC (1件)：

G01W 1/11

FI (1件)：

G01W 1/11 F