特許

J-GLOBAL ID：201103077422604800

複合蒸着材およびその製造方法

発明者： 古市 眞治
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-331931
公開番号（公開出願番号）：特開2002-080960
特許番号：特許第3518745号
出願日： 2000年10月31日
公開日（公表日）： 2002年03月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 アルミニウム基体と前記アルミニウム基体の軸領域に分散された少なくとも1種類以上の金属化合物の粉末を備え、前記金属化合物が酸化鉄、酸化ニッケル、酸化クロム、酸化コバルトであり、一回の蒸着作業で蒸着膜の蒸着初期の組成はアルミニウムがリッチで、蒸着終期の組成は金属化合物がリッチとなり、450°C以下の熱履歴前後で膜厚方向の組成変化の少ない組成傾斜蒸着膜を得るための複合蒸着材。

IPC (2件)：

C23C 14/24 ,  B22F 3/02

FI (2件)：

C23C 14/24 E ,  B22F 3/02 P

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-194067
  
• 特開昭60-194067