特許
J-GLOBAL ID：201103077470483586
積層圧電素子の製造方法及び製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
亀谷 美明
, 金本 哲男
, 萩原 康司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-068857
公開番号（公開出願番号）：特開2000-263798
特許番号：特許第4337163号
出願日： 1999年03月15日
公開日（公表日）： 2000年09月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 圧電材料と電極とを交互に積層した圧電素子ブロックを、前記積層方向に沿って回転可能な切削手段により切削するようにした積層圧電素子の製造方法において、
前記電極間の抵抗値を測定し、抵抗値が抵抗値判定用基準値以下の場合、前記電極に電圧を印加して、前記切削したときに生じる前記電極間の短絡部を溶断する溶断工程を有し、
前記溶断のための電力が電力判定用基準値以下の場合、前記溶断のための電力を順次段階的に増大させて前記溶断工程を繰り返し、
前記電極間の抵抗値が前記抵抗値判定用基準値より大きい場合、前記電極間の短絡が修復したと判定し、
前記電極間の抵抗値が前記抵抗値判定用基準値以下の場合であって、前記溶断のための電力が前記電力判定用基準値より大きくなった場合、前記電極間の短絡を修復困難と判定する
積層圧電素子の製造方法。
IPC (4件)：
B41J 2/16 ( 200 6.01)
, B41J 2/045 ( 200 6.01)
, B41J 2/055 ( 200 6.01)
, H01L 41/22 ( 200 6.01)
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 A
, H01L 41/22 Z
