特許
J-GLOBAL ID：201103077584793275
ウェーハのオリエンテーションフラットの直線性測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
須田 正義
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-183702
公開番号（公開出願番号）：特開2003-004406
特許番号：特許第3849072号
出願日： 2001年06月18日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】1又は2以上の直線軌道(11a)が第1方向に形成されたベース(11)と、
前記直線軌道(11a)に係合手段(12)を介して係合することにより前記第1方向に沿って移動可能に構成され更にオリエンテーションフラット(18a,18b)を有するウェーハ(18)が載るための上面が平坦に形成されたプラットフォーム(13)と、
前記第1方向と直交する第2方向に前記直線軌道(11a)と所定の第1間隔(L)をあけて前記ベース(11)に取付けられ前記プラットフォーム(13)に載ったウェーハ(18)のオリエンテーションフラット(18a,18b)が当接可能であって前記第1方向に平行な平坦面(19a)を有するブロック(19)と、
前記プラットフォーム(13)に設けられ前記ウェーハ(18)を前記プラットフォーム(13)に載せた状態で固定するウェーハ固定手段(34)と、
前記第1方向に前記ブロック(19)と所定の第2間隔(M)をあけて前記ベース(11)に取付けられ前記直線軌道(11a)に対向して前記第2方向に変位可能な測定子(39a)を有する測定具(39)と
を備え、
前記測定子(39a)の先端と前記直線軌道(11a)との間隔をNとするとき、次の式(1)が満たされたことを特徴とするウェーハのオリエンテーションフラットの直線性測定装置。
0μm<(L-N)≦100μm ......(1)
IPC (1件)：
FI (1件)：
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