特許
J-GLOBAL ID：201103077633704240
めっき装置及びめっき処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-099556
公開番号（公開出願番号）：特開2000-290796
特許番号：特許第3285006号
出願日： 1999年04月07日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 めっき液を被めっき物に接触させて電気めっきを施す装置であって、被めっき物が配置される開口部を備える側壁と、前記開口部に配置される被めっき物の下方から上方に向かって流れるめっき液を導入する導入口と、前記開口部に配置される前記被めっき物より上方に構成され、前記導入口から導入されためっき液を出力する出力口と、前記導入口より前記出力口までめっき液を導くと共に前記開口部に配置された被めっき物の被めっき面にめっき液を接触させる流路と、前記開口部の下方に構成され、前記流路内のめっき液を排出する排出口と、を備えるめっき槽と、前記被めっき物の被めっき面が前記めっき槽内に露出するように、前記被めっき物を、前記めっき槽の前記開口部に着脱可能に固定する被めっき物支持部と、前記開口部に固定されている被めっき物と接触するカソード電極と、前記被めっき物と対向して、前記めっき槽内に配置されたアノード電極とを備え、前記開口部を備える側壁は斜め方向に配置され、前記被めっき物支持部は、前記被めっき物の被めっき面が斜め上方を向くように、前記被めっき物を前記開口部に固定する、ことを特徴とするめっき装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C25D 17/00 C
, H01L 21/288 Z
