特許

J-GLOBAL ID：201103077744863224

窒化物半導体光機能素子

発明者： 山中 一彦
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (10件)： 前田 弘 ,  竹内 宏 ,  嶋田 高久 ,  竹内 祐二 ,  今江 克実 ,  二宮 克也 ,  原田 智雄 ,  井関 勝守 ,  関 啓 ,  杉浦 靖也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-252203
公開番号（公開出願番号）：特開2011-096981
出願日： 2009年11月02日
公開日（公表日）： 2011年05月12日
要約：

【課題】発光領域が小さい光機能素子を低コストで提供する。【解決手段】基板2上の透明薄膜4中に所定の間隔で所定の大きさの孔を配列したフォトニック結晶31が形成され、フォトニック結晶導波路30はこのフォトニック結晶の一部分に孔を形成しない領域を設けることによって形成されている。この導波路の下部に開口部が形成され、当該開口部が埋まるように窒化物半導体を基板上から透明薄膜の上側まで結晶成長させることによって発光素子10が形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に形成された発光素子及び透明薄膜を有する窒化物半導体光機能素子であって、 前記透明薄膜中にフォトニック結晶導波路及び開口部が形成されており、 前記発光素子は、前記開口部が埋まるように前記基板上から前記透明薄膜の上側まで結晶成長させた窒化物半導体からなることを特徴とする窒化物半導体光機能素子。

IPC (5件)：

H01L 33/32 ,  H01L 33/24 ,  G02B 6/122 ,  G02B 6/12 ,  G02B 6/42

FI (5件)：

H01L33/00 186 ,  H01L33/00 174 ,  G02B6/12 B ,  G02B6/12 Z ,  G02B6/42

Fターム (55件)：

2H137AB09 ,  2H137AB12 ,  2H137AC01 ,  2H137BA01 ,  2H137BA43 ,  2H137BA52 ,  2H137BB02 ,  2H137BB12 ,  2H137BB25 ,  2H137BB31 ,  2H137BB33 ,  2H137CA34 ,  2H137EA04 ,  2H137EA05 ,  2H137EA12 ,  2H137FA00 ,  2H147AA01 ,  2H147AB04 ,  2H147AB05 ,  2H147AB09 ,  2H147AB10 ,  2H147BA17 ,  2H147BF13 ,  2H147BG19 ,  2H147CA01 ,  2H147CB01 ,  2H147CB02 ,  2H147CB03 ,  2H147CD02 ,  2H147DA08 ,  2H147EA02A ,  2H147EA02B ,  2H147EA02D ,  2H147EA12D ,  2H147EA13C ,  2H147EA14A ,  2H147EA14B ,  2H147EA15C ,  2H147EA25B ,  2H147FA04 ,  2H147FC02 ,  2H147FC03 ,  2H147FC06 ,  2H147FD20 ,  5F041AA02 ,  5F041AA47 ,  5F041CA04 ,  5F041CA05 ,  5F041CA14 ,  5F041CA40 ,  5F041CA65 ,  5F041CA74 ,  5F041CB05 ,  5F041CB21 ,  5F041FF14