圧電デバイスの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：上柳雅誉 , 藤綱英吉 , 宮坂一彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-234366
公開番号（公開出願番号）：特開2002-050807
特許番号：特許第3873592号
出願日： 2000年08月02日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】圧電材料のウエハを切断して所定の圧電チップを形成し、この圧電チップに電極を形成して圧電振動片とし、この圧電振動片を所定のパッケージ内に収容する圧電デバイスの製造方法において、前記圧電振動片の周波数の調整の後で前記圧電振動片を前記パッケージに封止する前に、封止に用いる整列治具に前記圧電振動片を保持し、洗浄液を収容した洗浄槽内に前記整列治具を浸漬して、圧電振動片を洗浄する工程を含むことを特徴とする、圧電デバイスの製造方法。

IPC (3件)：