特許

J-GLOBAL ID：201103077976146103

塗布検査装置

発明者： 福澤 隆
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 森下 賢樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-087814
公開番号（公開出願番号）：特開2011-218261
出願日： 2010年04月06日
公開日（公表日）： 2011年11月04日
要約：

【課題】安価且つ小型の塗布検査装置を提供する。【解決手段】塗布検査装置10は、シリンジ54から吐出された励起光の照射により蛍光を発する接着剤が、塗布対象物70に塗布されたか否かを検査する。塗布検査装置10は、励起光源12から出射された励起光を伝搬する第2光ファイバ22と、第2光ファイバ22の先端部と、第2光ファイバ22の先端部から出射された励起光を集光して塗布された接着剤に照射するとともに、励起光が照射された接着剤から発生する蛍光を集光して第2光ファイバ22へ導くレンズ28とを含むプローブ18と、第2光ファイバ22を伝搬した蛍光を受光する検出器16と、プローブ18とシリンジ54とを一体的に連結する連結機構60とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

塗布装置から吐出された励起光の照射により蛍光を発する物質が、塗布対象物に塗布されたか否かを検査する塗布検査装置であって、 励起光源から出射された励起光を伝搬する光伝送路と、 前記光伝送路の先端部と、前記光伝送路の先端部から出射された励起光を集光して塗布された前記物質に照射するとともに、励起光が照射された前記物質から発生する蛍光を集光して前記光伝送路へ導くレンズと、を含むプローブと、 前記光伝送路を伝搬した蛍光を受光する検出器と、 前記プローブと前記塗布装置とを一体的に連結する連結機構と、 を備えることを特徴とする塗布検査装置。

IPC (3件)：

B05C 11/00 ,  G01N 21/85 ,  G01N 21/64

FI (3件)：

B05C11/00 ,  G01N21/85 Z ,  G01N21/64 Z

Fターム (21件)：

2G043AA03 ,  2G043EA01 ,  2G043HA01 ,  2G043HA05 ,  2G043HA09 ,  2G043JA02 ,  2G043KA02 ,  2G043KA05 ,  2G043KA09 ,  2G051AA90 ,  2G051AB13 ,  2G051BA05 ,  2G051BB17 ,  2G051CA01 ,  2G051CC15 ,  2G051CC17 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042BA11 ,  4F042BA22 ,  4F042DH09