特許

J-GLOBAL ID：201103078229211873

ポジ型レジスト組成物

発明者： 尾家 正行 ,  河田 正司 ,  山田 隆正
出願人/特許権者： 日本ゼオン株式会社
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-342192
公開番号（公開出願番号）：特開平3-200250
特許番号：特許第2566170号
出願日： 1989年12月28日
公開日（公表日）： 1991年09月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】アルカリ可溶性フェノール樹脂100重量部、キノンジアジドスルホン酸エステル系感光剤1〜100重量部を含有するポジ型レジスト組成物に、イソプロペニルフェノール化合物のオリゴマー又はその水素添加物2〜50重量部を配合してなることを特徴とするポジ型レジスト組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/022 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/022 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-277234
  
• 特開昭64-044439
  
• 特開昭60-150047
  
• 特開平1-304455