特許
J-GLOBAL ID：201103078277247774
ウエハの異物識別方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-097845
公開番号（公開出願番号）：特開平2-275343
特許番号：特許第2720193号
出願日： 1989年04月18日
公開日（公表日）： 1990年11月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】表面にICペレットの配線パターンを形成したウエハに対して、一定の入射角でS偏光面を有する偏光ビームを投射し、該偏光ビームの散乱光を、S偏光成分と、該S偏光面に対して直角方向のP偏光成分とに分離して、上記ウエハに付着した異物を検出する異物検査装置において、マイクロプロセッサの制御と処理により、上記ICペレットに設定された特殊マークの座標位置を予めメモリに記憶し、該座標位置における上記S偏光成分の検出電圧とP偏光成分の検出電圧に対して、それぞれ段階を設けて複数の検出領域に区分し、該各検出領域に対して予め設定された上記座標位置に対する有効条件または無効条件に従って上記検出電圧を有効または無効として、上記特殊マークの位置に存在する異物を識別することを特徴とする、ウエハの異物識別方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 E
, H01L 21/66 J
