レジスト用重合体および化学増幅型レジスト組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-338138
公開番号（公開出願番号）：特開2003-140346
特許番号：特許第4094272号
出願日： 2001年11月02日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】酸によりアルカリ水溶液に可溶となるレジスト用(共)重合体であって、光学活性なラクトン骨格を有し光学純度が80%ee以上の単量体を単独重合またはその他の単量体と共重合して得られるレジスト用(共)重合体。

IPC (3件)：