特許
J-GLOBAL ID：201103078635702098
球状シリカ粉末及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-073355
公開番号（公開出願番号）：特開2001-261328
特許番号：特許第4313924号
出願日： 2000年03月16日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】シリカ原料粉末を火炎中に噴射し球状化処理を行う方法において、シリカ原料粉末の粒度構成が以下の条件を満たしていることを特徴とする球状シリカ粉末の製造方法。
(イ)(D75-D25)/D50が2.0以下。
(ロ)(D50/5)下までの粉末の含有率が15%以下。
(ハ)1μm下の粉末の含有率が10%以下。
但し、D75:原料シリカ原料粉末の累積質量75%の粒子径
D25:原料シリカ原料粉末の累積質量25%の粒子径
D50:原料シリカ原料粉末の累積質量50%の粒子径
IPC (5件)：
C01B 33/18 ( 200 6.01)
, C03B 20/00 ( 200 6.01)
, C08K 7/18 ( 200 6.01)
, H01L 23/29 ( 200 6.01)
, H01L 23/31 ( 200 6.01)
C01B 33/18 E
, C03B 20/00 D
, C08K 7/18
, H01L 23/30 R
