特許
J-GLOBAL ID:201103078743872277

光学装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 上田 邦生 ,  藤田 考晴
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-109385
公開番号(公開出願番号):特開2011-237635
出願日: 2010年05月11日
公開日(公表日): 2011年11月24日
要約:
【課題】対物レンズが光軸方向に移動しても、照射光を精度よく集光する。【解決手段】照射光Lの波面を変調する波面変調部6と、該波面変調部6により波面が変調された照射光Lを標本Aに集光する対物レンズ13と、該対物レンズ13を光軸方向に移動させる対物移動機構20と、波面変調部6により変調された波面を対物レンズ13にリレーするリレー光学系9,10と、対物移動機構20による対物レンズ13の移動に伴う光路長の増減を補償するように対物レンズ13とリレー光学系10との間の光路長を調整する光路長調整部12とを備える光学装置1を提供する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
照射光の波面を変調する波面変調部と、 該波面変調部により波面が変調された照射光を標本に集光する対物レンズと、 該対物レンズを光軸方向に移動させる対物移動機構と、 前記波面変調部により変調された波面を対物レンズにリレーするリレー光学系と、 前記対物移動機構による前記対物レンズの移動に伴う光路長の増減を補償するように前記対物レンズと前記リレー光学系との間の光路長を調整する光路長調整部とを備える光学装置。
IPC (1件):
G02B 21/06
FI (1件):
G02B21/06
Fターム (9件):
2H052AA07 ,  2H052AA09 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34 ,  2H052AD06 ,  2H052AD33 ,  2H052AD34
引用特許:
審査官引用 (5件)
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