特許

J-GLOBAL ID：201103078751784140

センサおよびプロセスの超高感度監視

発明者： ウェガーリッチ、ステファン ダブリュ. ,  ジャーマン、クリスティン ケイ. ,  グロス、ケネス シー.
出願人/特許権者： アーチ ディベロプメント コーポレイション
代理人 (1件)： 奥山 尚一 (外4名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-540543
特許番号：特許第3495705号
出願日： 1999年01月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】選択されたシステムの動作条件を決定するためにデータ源をモニタするための方法であって、基準システムの動作条件に特有の基準データを提供する段階と、前記データ源からの、選択されたシステムの動作条件に特有の選択されたデータを収集する段階と、前記基準データおよび前記選択されたデータに有界角比検定手順を実施し、前記基準システムの前記基準データを基準にして、前記選択されたシステム用の前記選択されたデータに偏差があるか否かを決定する段階と、前記偏差を決定した時、表示を生成する段階とを含むことを特徴とする方法。

IPC (2件)：

G05B 23/02 ,  G21C 17/00

FI (2件)：

G05B 23/02 P ,  G21C 17/00 A