特許

J-GLOBAL ID：201103078853204709

トラップ装置および方法

発明者： 田中 敬二 ,  柳澤 清司 ,  赤阪 仁孝 ,  黒田 敏弘 ,  満留 和也
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所 ,  シャープ株式会社
代理人 (4件)： 渡邉 勇 ,  堀田 信太郎 ,  小杉 良二 ,  森 友宏
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-243189
公開番号（公開出願番号）：特開2003-053101
特許番号：特許第4166005号
出願日： 2001年08月10日
公開日（公表日）： 2003年02月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 プロセス装置から真空ポンプにより排出される排気ガス中の生成物をトラップ材に接触させて固形状物質として捕捉するトラップ装置において、 排気ガスの流入口と流出口とを有し、冷却水の流路を備えたトラップ容器と、 該トラップ容器内部に前記流入口に接続して設けられ、前記流入口よりも排気ガスの流れ方向に対して断面積の大きな排気ガス取込空間と、 前記排気ガス取込空間内に配置され、排気ガスの流入方向に沿って平行に配置された複数の金属板材と、 該排気ガス取込空間に隣接して配置され、複数のトラップフィルタの積層体により構成されたトラップ材とを備え、 前記排気ガス取込空間内で前記排気ガスがその流れの方向を略直交方向に変換して、前記トラップ材に接触しつつ流れるようにし、 前記複数のトラップフィルタはそのメッシュサイズが排気ガスの流れ方向に沿って上流側から下流側にかけて細かくなるように設定され、前記トラップ材を通過した排気ガスが流出口に導かれることを特徴とするトラップ装置。

IPC (2件)：

B01D 8/00 ( 200 6.01) ,  H01L 21/02 ( 200 6.01)

FI (2件)：

B01D 8/00 Z ,  H01L 21/02 Z

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開昭54-121395
  
• 特開平2-002801
  
• 特開平3-056603
  
• 特開昭63-270515
  

審査官引用 (6件)

• 特開昭54-121395
  
• 特開昭54-121395
  
• 特開平2-002801
  
• 特開平2-002801
  
• 特開平3-056603
  
• 特開平3-056603