投影測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：木下實三 , 中山寛二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-018330
公開番号（公開出願番号）：特開2000-213909
特許番号：特許第3675657号
出願日： 1999年01月27日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被測定物を載置するテーブルと、スクリーンおよびこのスクリーン上に前記被測定物を投影する投影レンズを有する観察光学系と、前記テーブルと観察光学系とを相対移動させる相対移動手段と、この相対移動手段による相対移動量を検出する変位検出手段とを備えた投影測定装置において、前記観察光学系の光路中に挿入された液晶表示板と、前記液晶表示板に被測定物の形状を測定するための線画像を所定の倍率で表示させる表示制御手段とを備えたことを特徴とする投影測定装置。

IPC (1件)：