力検出装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：志村浩
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-352645
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165790
特許番号：特許第4295883号
出願日： 1999年12月13日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 XYZ三次元座標系を定義したときに、上面がXY平面に含まれる位置に配置された基板と、前記基板の上方に位置し外部からの力を受けて変位する変位部と、前記基板に固定された固定部と、前記変位部と前記固定部とを接続する接続部と、を有し、前記基板上面に取り付けられた作用体と、前記変位部の下面に形成され、弾性変形する性質をもった弾性変形体と、前記弾性変形体の下面に形成されたスイッチ用変位電極と、前記基板の前記スイッチ用変位電極に対向する位置に形成されたスイッチ用固定電極と、前記変位部の変位に起因して静電容量値が変化するように構成された容量素子と、を備え、前記接続部は可撓性を有しており、前記変位部に力が作用したときに、前記接続部が撓みを生じることにより、前記変位部が前記基板に対して変位を生じ、前記変位部に力が作用していない場合には、前記スイッチ用変位電極と前記スイッチ用固定電極とが非接触な状態を保ち、前記座標系におけるZ軸方向成分を有する所定量の力が前記変位部に作用した場合には、前記スイッチ用変位電極と前記スイッチ用固定電極とが接触状態となり、前記Z軸方向成分を有する更に大きな力が前記変位部に作用した場合には、前記弾性変形体が弾性変形を生じることにより、前記スイッチ用変位電極と前記スイッチ用固定電極とが接触状態を維持したまま、前記容量素子の静電容量値が変化するように構成され、前記スイッチ用変位電極と前記スイッチ用固定電極とによりスイッチが構成されるようにし、前記容量素子の静電容量値の変化を電気的に検出することにより、作用した力の所定方向成分の大きさを認識できるようにしたことを特徴とする力検出装置。

IPC (5件)：

G01L 5/16 ( 200 6.01) , G01L 1/14 ( 200 6.01) , G06F 3/02 ( 200 6.01) , H01H 13/00 ( 200 6.01) , H01H 13/52 ( 200 6.01)

FI (5件)：

G01L 5/16 , G01L 1/14 J , G06F 3/02 E , H01H 13/00 B , H01H 13/52 B

引用特許：

出願人引用 (3件)

静電容量式力検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-301891 出願人：ニッタ株式会社
座標入力装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-145262 出願人：ニッタ株式会社
静電容量式力覚センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-247476 出願人：ニッタ株式会社, 株式会社ワコー

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