感光性樹脂組成物、感光性樹脂膜およびこれらを用いたバンプ形成方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福沢俊明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-057022
公開番号（公開出願番号）：特開2000-250210
特許番号：特許第4150834号
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 (A)重量平均分子量2,000〜30,000のノボラック樹脂、(B)低級アルキル基の炭素数が1〜5のポリビニル低級アルキルエーテル、(C)分子量200〜1,000の多核フェノール化合物および(D)ナフトキノンジアジド基含有化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/023 ( 200 6.01) , G03F 7/004 ( 200 6.01) , G03F 7/033 ( 200 6.01) , H01L 21/027 ( 200 6.01) , H05K 3/06 ( 200 6.01)

FI (5件)：

G03F 7/023 511 , G03F 7/004 501 , G03F 7/033 , H01L 21/30 502 R , H05K 3/06 H

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開昭46-016049
特開昭61-006648

審査官引用 (2件)

特開昭46-016049
特開昭61-006648

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