特許
J-GLOBAL ID：201103079596370925
レジスト用樹脂
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
佐藤 一雄
, 小野寺 捷洋
, 中村 行孝
, 紺野 昭男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-351365
公開番号（公開出願番号）：特開2001-188351
特許番号：特許第3840052号
出願日： 2000年11月17日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 アダマンタン環の少なくとも1つの環状炭素が-(C=O)-に変換された骨格を構造に含んでなる重合単位であって、隣接する重合単位と、2個以上の、カルボン酸エステル結合または酸無水物結合を介して結合している重合単位を含んでなることを特徴とする樹脂。
IPC (4件)：
G03F 7/039 ( 200 6.01)
, C08F 20/28 ( 200 6.01)
, C08G 63/199 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
G03F 7/039 601
, C08F 20/28
, C08G 63/199
, H01L 21/30 502 R
