特許
J-GLOBAL ID：201103079652308715
3次元形状測定機およびその測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-071254
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266524
特許番号：特許第3604944号
出願日： 1999年03月17日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】被測定物の形状に沿って走査するプローブを用いて被測定物の3次元形状を測定する3次元形状測定機において、被測定物を支持しかつ該被測定物に垂直方向となるZ軸方向に対しての回転成分となるθ軸方向に移動可能に設けられたθステージと、前記プローブを前記被測定物に対して水平方向となるR軸方向に移動させるRステージと、前記プローブを前記被測定物に対して垂直方向となるZ軸方向に移動させるZステージと、前記Rステージおよび前記ZステージからなるR-Zステージ上に配設された前記プローブとを備えており、 前記プローブの被測定物に対する3次元座標位置におけるZ軸方向の位置を検出する、前記R-Zステージ上に配設された前記プローブのZ軸方向の位置を検出するレーザ測長器、およびR軸に対して平行でかつZ軸上を通る位置に配置されたZ基準ミラーを含む計測系と、 前記プローブの被測定物に対する3次元座標位置におけるR軸方向の位置を検出する、前記R-Zステージ上に配設された前記プローブのR軸方向の位置を検出するレーザ測長器、およびZ軸に対して平行でかつR軸上を通る位置に配置されたR基準ミラーを含む計測系と、 前記θステージのZ軸方向の位置を検出する、前記R-Zステージ上とは異なる位置に配置された前記θステージのZ軸方向の位置を検出するレーザ測長器、および前記Z基準ミラーを含む計測系と、 前記θステージのR軸方向の位置を検出する、前記R-Zステージ上とは異なる位置に配置された前記θステージのR軸方向の位置を検出するレーザ測長器、および前記R基準ミラーを含む計測系と、前記θステージのθ軸方向の位置を検出する角度検出手段とを有することを特徴とする3次元形状測定機。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/24 D
, G01B 21/20 101
