特許

J-GLOBAL ID：201103080127477598

球状粒子径の計測装置および計測方法

発明者： 鶴岡 裕二 ,  毛利 孝志 ,  山口 敦人 ,  古川 雅朗 ,  神谷 誠一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 谷 義一 ,  阿部 和夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-143422
公開番号（公開出願番号）：特開2011-002257
出願日： 2009年06月16日
公開日（公表日）： 2011年01月06日
要約：

【課題】透過性の無い粒子であっても計測可能で、かつサブミクロン程度の粒子でも高精度に粒子径を測定できる球状粒子径の計測装置および計測方法を提供する。【解決手段】球状粒子1を2方向から照射する2つのレーザ光源2および3と、この照射光が球状粒子1の表面で正反射して生じる2つの輝点間の距離を計測するための測長手段と、計測した2つの輝点間の距離から前記球状粒子の径を算出する手段とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

球状粒子を2方向から照射する照射手段と、 該照射手段からの照射光が前記球状粒子の表面で正反射して生じる2つの輝点間の距離を計測するための測長手段と、 該測長手段によって計測した前記2つの輝点間の距離から前記球状粒子の径を算出する手段と を備えることを特徴とする球状粒子径計測装置。

IPC (3件)：

G01N 15/02 ,  G01B 11/10 ,  G01B 11/08

FI (3件)：

G01N15/02 A ,  G01B11/10 H ,  G01B11/08 H

Fターム (21件)：

2F065AA26 ,  2F065BB07 ,  2F065BB15 ,  2F065FF04 ,  2F065FF33 ,  2F065GG04 ,  2F065GG06 ,  2F065HH03 ,  2F065HH04 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL30 ,  2F065MM02 ,  2F065NN02 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ31