形状解析装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：吉田研二 , 石田純
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-129568
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321049
特許番号：特許第3665506号
出願日： 1999年05月11日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被測定物表面をスタイラスで走査して得られた測定データを前記スタイラス半径を用いて補正し、補正データから、補正データとワークの実面データとの差分である逆行データを削除することにより前記被測定物の形状を解析する装置であって、前記補正データのデータ間角度に基づいて逆行データの開始位置である逆行開始位置を特定する手段を有することを特徴とする形状解析装置。

IPC (1件)：