特許

J-GLOBAL ID：201103080523723500

X線応力測定方法

発明者： 佐々木 敏彦
出願人/特許権者： 国立大学法人金沢大学
代理人 (6件)： 高島 一 ,  土井 京子 ,  鎌田 光宜 ,  田村 弥栄子 ,  山本 健二 ,  村田 美由紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-173619
公開番号（公開出願番号）：特開2011-027550
出願日： 2009年07月24日
公開日（公表日）： 2011年02月10日
要約：

【課題】従来のエリアディテクタ方式の3軸応力測定法の問題点を解決し、より精度の高い測定方法を提供すること。【解決手段】被検物にX線を照射して得られる回折環に基いて3軸応力を測定する方法である。第一の態様では、4つの入射方向(φ0 = 0°、90°、180°、270°)にてX線を斜めに照射して各々回折環を得、φ0 =(0°、180°)では(σx -σz )、τyzを求め、φ0 =(90°、270°)では(σy-σz )、τxz を求め、これらの回折環からτxyσz を求め、もって6個の3軸応力成分を得る。第二の態様では、垂直入射と2つの斜め入射φ0 =(0°、90°)によって回折環を得、垂直入射ではτxz、τyz を、φ0 = 0°では(σx-σz )、τxy を、φ0 = 90°では(σy -σz )、τxy を求め、これらの回折環からσz を求め、もって6個の3軸応力成分を得る。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被検物にX線を照射して得られる回折環に基いて被検物内に存在する応力を測定するX線応力測定方法であって、 被検物表面の測定点に対して、下記(A)で規定される4つの入射方向s1、s2、s3、s4にてX線を照射し、それぞれに回折環を得、 該入射方向s1、s3の回折環の組からは、x軸、z軸方向の応力の関係式(σx -σz )と、剪断応力τyz とを少なくとも求め、 該入射方向s2、s4の回折環の組からは、y軸、z軸方向の応力の関係式(σy -σz )と、剪断応力τxzとを少なくとも求め、 該入射方向s1、s3の回折環の組、および、該入射方向s2、s4の回折環の組のうちの一方または両方から、剪断応力τxy を求め、 以上によって得られた応力の関係式および剪断応力からz軸方向の応力σz を求め、これらをもって、6個の3軸応力成分σx 、σy 、σz 、τxy、τyz 、τxz を得ることを特徴とする、X線応力測定方法。 (A)測定点における被検物表面の法線から所定の入射角度Ψ0 だけ傾いて測定点へ向かう4つの入射方向s1、s2、s3、s4であって、これらの入射方向は、測定点において直交するxy座標を被検物表面に規定し、これらの入射方向を被検物表面に投影したときに、入射方向s1とs3の投影がx軸に一致しかつ互いに対向し、入射方向s2とs4の投影がy軸に一致しかつ互いに対向するような位置関係にある、前記4つの入射方向s1、s2、s3、s4。

IPC (2件)：

G01L 1/00 ,  G01N 23/20

FI (2件)：

G01L1/00 A ,  G01N23/20

Fターム (10件)：

2G001AA01 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA09 ,  2G001GA13 ,  2G001KA07 ,  2G001LA02 ,  2G001MA06 ,  2G001MA08