特許

J-GLOBAL ID：201103080848212862

基板搬送装置

発明者： 篠木 武虎
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 大森 純一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-215905
公開番号（公開出願番号）：特開2003-031637
特許番号：特許第3887549号
出願日： 2001年07月16日
公開日（公表日）： 2003年01月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】回転する複数のローラ上に基板を載置させて基板を搬送させる第1の搬送部と、 回転する複数のローラ上に基板を載置させて、前記第1の搬送部の搬送速度と異なる速度で基板を搬送させる第2の搬送部と、 前記第1の搬送部と前記第2の搬送部との間に接続して配置され、搬送方向の長さが基板の搬送方向1辺より短い長さを有し、回転する複数のローラ上に基板を載置させて、前記第1の搬送部から搬送される基板を前記第2の搬送部へ搬送させる第3の搬送部と、 1枚の基板が前記第1の搬送部と前記第3の搬送部とにまたがって搬送されているときであって、前記1枚の基板の前記第1の搬送部のローラ上にある面積よりも前記第3の搬送部のローラ上にある面積が大くなったときに、前記第3の搬送部を前記第2の搬送部に接続させた状態で前記第1の搬送部から離間させる手段と を具備することを特徴とする基板搬送装置。

IPC (9件)：

H01L 21/677 ( 200 6.01) ,  B65G 13/04 ( 200 6.01) ,  B65G 47/52 ( 200 6.01) ,  B65G 49/06 ( 200 6.01) ,  B65G 49/07 ( 200 6.01) ,  G02F 1/13 ( 200 6.01) ,  G02F 1/1333 ( 200 6.01) ,  G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (10件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 13/04 ,  B65G 47/52 A ,  B65G 49/06 Z ,  B65G 49/07 B ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/133 500 ,  G03F 7/20 501 ,  H01L 21/30 502 J ,  H01L 21/30 562