アークイオンプレーティング装置

発明者： , , , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：梶良之 , 須原誠
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-113209
公開番号（公開出願番号）：特開2001-348661
特許番号：特許第3605373号
出願日： 2001年04月11日
公開日（公表日）： 2001年12月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】真空チャンバと、該真空チャンバ内に設けられアークを発生させる蒸発源とを含み、ワーク表面に被覆を行うアークイオンプレーティング装置において、該装置は前記ワークを保持するワークテーブルを持ち、前記ワークは該テーブル上の周囲に配置されており、該テーブルには、前記真空チャンバへの被覆を防止するシールド板及び前記ワークが配置されていて、該シールド板と前記テーブルとが一緒に前記真空チャンバ内に搬入され、搬出されることを特徴とするアークイオンプレーティング装置。

IPC (2件)：