情報記録媒体用ガラス基板及びその製造方法、磁気記録媒体

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：小栗昌平 , 本多弘徳 , 市川利光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-162746
公開番号（公開出願番号）：特開2011-018398
出願日： 2009年07月09日
公開日（公表日）： 2011年01月27日
要約：

【課題】アルカリアルミノシリケートガラスからなるガラス円板について、酸化セリウム砥粒を含むスラリーを用いる研磨工程を経て情報記録媒体用ガラス基板を製造する方法において、酸化セリウム砥粒の残留を抑制し、更に主表面の面荒れを少なくする。【解決手段】(SiO2-Al2O3)が62モル%以下のLi2O-Al2O3-SiO2系ガラスからなる円板を、酸化セリウム研磨工程の跡、硫酸濃度20質量%以上80質量%以下、過酸化水素濃度1質量%以上10質量%以下である洗浄液を用いて50°C以上100°C以下の液温にて洗浄し、その後、ガラス円板の主表面をコロイダルシリカ砥粒を含むスラリーを用いて仕上げ研磨する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

アルカリアルミノシリケートガラスからなるガラス円板をラッピングするラッピング工程と、その後に、酸化セリウム砥粒を含むスラリーを用いて研磨する酸化セリウム研磨工程とを含む情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、アルカリアルミノシリケートガラスにおけるSiO2含有量からAl2O3含有量を減じた差(SiO2-Al2O3)が62モル%以下であり、酸化セリウム研磨工程に引き続いてガラス円板を、硫酸濃度20質量%以上80質量%以下、過酸化水素濃度1質量%以上10質量%以下である洗浄液を用いて50°C以上100°C以下の液温にて洗浄する洗浄工程と、前記洗浄工程の後にガラス円板の主表面を、コロイダルシリカ砥粒を含むスラリーを用いて研磨する仕上げ研磨工程と、を含むことを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。

IPC (9件)：

G11B 5/84 , B24B 37/00 , G11B 5/73 , B08B 3/08 , C03C 19/00 , C03C 23/00 , C03C 3/087 , C03C 3/085 , C03C 3/083

FI (10件)：

G11B5/84 Z , G11B5/84 A , B24B37/00 H , G11B5/73 , B08B3/08 Z , C03C19/00 Z , C03C23/00 A , C03C3/087 , C03C3/085 , C03C3/083

Fターム (113件)：

3B201AA03 , 3B201BB02 , 3B201BB21 , 3B201BB82 , 3B201BB83 , 3B201BB87 , 3B201BB93 , 3B201BB96 , 3B201CA01 , 3B201CB01 , 3B201CC01 , 3B201CC11 , 3C058AA07 , 3C058CA01 , 3C058CA06 , 3C058CB01 , 3C058CB10 , 3C058DA02 , 3C058DA17 , 4G059AA09 , 4G059AC03 , 4G062AA01 , 4G062BB01 , 4G062BB03 , 4G062BB06 , 4G062CC10 , 4G062DA06 , 4G062DA07 , 4G062DB03 , 4G062DB04 , 4G062DC01 , 4G062DD01 , 4G062DE01 , 4G062DF01 , 4G062EA01 , 4G062EA02 , 4G062EA03 , 4G062EA04 , 4G062EB01 , 4G062EB02 , 4G062EB03 , 4G062EB04 , 4G062EC01 , 4G062EC02 , 4G062EC03 , 4G062EC04 , 4G062ED01 , 4G062ED02 , 4G062ED03 , 4G062ED04 , 4G062EE01 , 4G062EE02 , 4G062EE03 , 4G062EE04 , 4G062EF01 , 4G062EF02 , 4G062EF03 , 4G062EF04 , 4G062EG01 , 4G062EG02 , 4G062EG03 , 4G062EG04 , 4G062FA01 , 4G062FA10 , 4G062FB01 , 4G062FC01 , 4G062FD01 , 4G062FE01 , 4G062FF01 , 4G062FG01 , 4G062FH01 , 4G062FJ01 , 4G062FK01 , 4G062FL01 , 4G062GA01 , 4G062GA10 , 4G062GB01 , 4G062GC01 , 4G062GD01 , 4G062GE01 , 4G062HH01 , 4G062HH03 , 4G062HH05 , 4G062HH07 , 4G062HH09 , 4G062HH11 , 4G062HH13 , 4G062HH15 , 4G062HH17 , 4G062HH20 , 4G062JJ01 , 4G062JJ03 , 4G062JJ05 , 4G062JJ07 , 4G062JJ10 , 4G062KK01 , 4G062KK03 , 4G062KK05 , 4G062KK07 , 4G062KK10 , 4G062MM27 , 4G062NN33 , 4G062NN40 , 5D006CB04 , 5D006CB07 , 5D006DA03 , 5D112AA02 , 5D112AA24 , 5D112BA03 , 5D112BA09 , 5D112GA08 , 5D112GA09 , 5D112GA14

引用特許：

審査官引用 (1件)

ガラス基板及びその洗浄方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-202522 出願人：日本板硝子株式会社

前のページに戻る