特許
J-GLOBAL ID：201103081019718852
ターボ分子ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
渡邉 勇
, 堀田 信太郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-189949
公開番号（公開出願番号）：特開2002-005078
特許番号：特許第3777498号
出願日： 2000年06月23日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、
前記径方向翼排気部の上方に位置する他の排気部と該他の排気部に対面する前記径方向翼排気部の1段目の固定翼または回転翼の上面との隙間間隔が、気体の流れ方向に沿って徐々に広くなるようにしたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
IPC (1件)：
FI (2件)：
F04D 19/04 D
, F04D 19/04 E
