光学的スペクトル領域の電磁放射線または放射線束の偏向装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：西教圭一郎 , 杉山毅至 , 廣瀬峰太郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-535954
特許番号：特許第4323096号
出願日： 1999年03月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光学的スペクトル領域の電磁放射線または放射線束、特にレーザ光束を偏向させる偏向装置であって、入射する放射線(8a-i;9;14a-c;15a,b;16a,b;24;26;29a-c)または放射線束(34a-c)を屈折または反射によって偏向させる少なくとも1つの光学的機能性境界面(2,20,22,36,37,38,39)を有する少なくとも1つの偏向素子(1,18,21,30,32,33)と、変位装置または回転装置として実現され、光学的機能性境界面(2,20,22)を放射線(8a-i;9;14a-c;15a,b;16a,b;24;26;29a-c)または放射線束に関して位置決めする位置決め装置とを含む偏向装置において、光学的機能性境界面(2)がプロペラ様のねじれ面であり、偏向装置は、少なくとも1つの偏向素子(1)を、放射線(8a-i;9)または放射線束の方向(z)に略垂直で、互いに垂直な2方向(x,y)に変位させ得る少なくとも2つの変位装置、または、少なくとも1つの偏向素子(1)を、偏向させる放射線(9a)の方向に略平行な軸(11)のまわりに少なくとも部分的に回転させ得る回転装置を含むことを特徴とする偏向装置。

IPC (1件)：

G02B 26/08 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G02B 26/08 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

単数または複数の固体レーザおよび/または半導体レーザの照射野を形成し案内する装置とその方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平8-532117 出願人：フラウンホーファー-ゲゼルシャフト・ツール・フェルデルング・デア・アンゲヴァンテン・フォルシュング・アインゲトラーゲナー・フェライン
特開平2-123785
特開平2-155589

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