特許
J-GLOBAL ID:201103081201086055

電子源及び画像形成装置の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 世良 和信 (外1名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-048648
公開番号(公開出願番号):特開2000-251677
特許番号:特許第3483492号
出願日: 1999年02月25日
公開日(公表日): 2000年09月14日
請求項(抜粋):
【請求項1】 複数の電子放出素子を、各々が、複数の電子放出素子から構成される素子群の複数からなる複数の処理単位に分け、前記処理単位を構成する前記複数の素子群のそれぞれに、有機物質を含有する雰囲気下で、パルス電圧を順次印加するとともに、このパルス電圧の順次印加を複数回繰り返す工程を、前記複数の処理単位に対して順次行う第一活性化ステップと、次に、前記第一活性化ステップと同様のステップを繰り返し行う第二活性化ステップとを伴い、前記複数の電子放出素子のそれぞれに炭素を有する膜を付与する活性化処理を有する電子源の製造方法であって、前記第二活性化ステップにおける初期段階の前記パルス電圧の波形条件を、前記第一活性化ステップにおける最終段階のパルス電圧の波形条件とは異ならせることを特徴とする電子源の製造方法。
IPC (1件):
H01J 9/02
FI (1件):
H01J 9/02 E

前のページに戻る