特許

J-GLOBAL ID：201103081340202507

液処理装置

発明者： 飽本 正巳 ,  戸島 孝之 ,  金子 聡 ,  松本 和久 ,  伊藤 規宏 ,  難波 宏光
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-173580
公開番号（公開出願番号）：特開2011-238967
出願日： 2011年08月09日
公開日（公表日）： 2011年11月24日
要約：

【課題】フットプリントを小さくすることができ、排気と排液との分離機構を特別に設ける必要のない液処理装置を提供すること。【解決手段】排気・排液部6は、主にウエハWから振り切られた処理液を取り入れて排液する環状をなす排液カップ41と、排液カップ41の外側を囲繞するように設けられ、回転カップ3およびその周囲からの主に気体成分を取り入れて排気する排気カップ42とを有し、回転カップ3は環状の庇部材32を含み、排液カップ41は、庇部材32の下側で回転カップ3に形成された排出孔33,34を通してウエハWから振り切られた処理液を取り入れて排液口43から排液し、排気カップ42は、庇部材32の上側で排気カップ42に形成された導入口42bを通して回転カップ3の周囲からの気体成分を取り入れて排気口45から排気し、排液カップ41からの排液と排気カップ42からの排気が独立して行われる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板を水平に保持し、基板とともに回転可能な基板保持部と、 前記基板保持部に保持された基板を囲繞し、基板とともに回転可能な回転カップと、 前記回転カップおよび前記基板保持部を一体的に回転させる回転機構と、 基板に処理液を供給する液供給機構と、 前記回転カップの排気および排液を行う排気・排液部と を具備し、 前記排気・排液部は、主に基板から振り切られた処理液を取り入れて排液する環状をなす排液カップと、前記排液カップの外側に前記排液カップを囲繞するように設けられ、前記回転カップおよびその周囲からの主に気体成分を取り入れて排気する排気カップとを有し、 前記回転カップは環状の庇部材を含み、 前記排液カップは、前記庇部材の下側で前記回転カップに形成された排出孔を通して基板から振り切られた処理液を取り入れて排液口から排液し、 前記排気カップは、前記庇部材の上側で前記排気カップに形成された導入口を通して前記回転カップの周囲からの気体成分を取り入れて排気口から排気し、 前記排液カップからの排液と前記排気カップからの排気がそれぞれ独立して行われることを特徴とする液処理装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 ,  B08B 3/02 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/306

FI (5件)：

H01L21/304 643A ,  H01L21/304 648L ,  B08B3/02 B ,  H01L21/30 569C ,  H01L21/306 R

Fターム (34件)：

3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB34 ,  3B201AB47 ,  3B201BB24 ,  3B201BB52 ,  3B201BB92 ,  3B201CB01 ,  3B201CD11 ,  3B201CD22 ,  3B201CD35 ,  5F043DD13 ,  5F043EE08 ,  5F043EE09 ,  5F043EE32 ,  5F043EE37 ,  5F146LA06 ,  5F146LA07 ,  5F157AB02 ,  5F157AB14 ,  5F157AB33 ,  5F157AB90 ,  5F157AC01 ,  5F157AC13 ,  5F157BB23 ,  5F157CE77 ,  5F157CF20 ,  5F157CF32 ,  5F157CF66 ,  5F157CF72 ,  5F157CF92 ,  5F157DB51 ,  5F157DC51 ,  5F157DC84