特許
J-GLOBAL ID：201103081437041982
ダイアフラム部を有する基板を備えたセンサ装置、及び同センサ装置を複数備えたセンサ装置アレイ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
, 江口 昭彦
, 内藤 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-040569
公開番号（公開出願番号）：特開2011-174876
出願日： 2010年02月25日
公開日（公表日）： 2011年09月08日
要約：
【課題】破損を容易に検知することのできるセンサ装置を提供する。【解決手段】本発明の一態様のセンサ装置は、ダイアフラム部100を有する基板65を備えたセンサ装置であって、前記ダイアフラム部100は、複数のセンサ用電極120と電気的に接続されたセンサ用配線111と、前記センサ用配線111と電気的に接続され、特定の物理量を測定可能に形成されたセンサ素子110と、複数の破損検知電極140と電気的に接続されて形成され、前記ダイアフラム部100に生じた破損によって断線されるよう形成された破損検知配線150と、を備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
ダイアフラム部を有する基板を備えたセンサ装置であって、
前記ダイアフラム部は、
複数のセンサ用電極と電気的に接続されたセンサ用配線と、
前記センサ用配線と電気的に接続され、特定の物理量を測定可能に形成されたセンサ素子と、
複数の破損検知電極と電気的に接続されて形成され、前記ダイアフラム部に生じた破損によって断線されるよう形成された破損検知配線と、を備える、
センサ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01F1/68 104A
, G01P5/10 Z
