アクチュエータ、インクジェット式記録ヘッド及びインクジェットプリンタ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：稲葉良幸 , 田中克郎 , 大賀眞司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-136066
公開番号（公開出願番号）：特開2000-326507
特許番号：特許第3551357号
出願日： 1999年05月17日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】膜内部に生じた応力に起因して結晶構造が相転移し、歪みを生じる相転移膜と、逆圧電効果により圧電歪みを生じ、前記相転移膜に応力を与える圧電体膜との積層構造を有するアクチュエータ。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , H01L 41/09

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , H01L 41/08 J

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