特許

J-GLOBAL ID：201103081617613275

ウェハ移載装置

発明者： 安田 浩治
出願人/特許権者： OKIセミコンダクタ株式会社 ,  OKIセミコンダクタ宮崎株式会社
代理人 (3件)： 青木 俊明 ,  清水 守 ,  川合 誠
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-332080
公開番号（公開出願番号）：特開2002-141390
特許番号：特許第4346811号
出願日： 2000年10月31日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】(a)ウェハを保持するウェハチャックと、 (b)該ウェハチャックが取り付けられたウェハチャック支持部材と、 (c)該ウェハチャック支持部材に上下方向に移動可能に取り付けられ、前記ウェハの上面を自重によって上方から押さえ付けるウェハ押さえ手段とを有し、 (d)該ウェハ押さえ手段が前記ウェハの上面を上方から押さえ付けて、前記ウェハをトレー上に形成された座グリ部内に載置させることを特徴とするウェハ移載装置。

IPC (2件)：

H01L 21/677 ( 200 6.01) ,  B65G 49/07 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 F