特許
J-GLOBAL ID：201103081829263266
超高速光電子顕微鏡のための方法およびシステム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 満
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-010306
公開番号（公開出願番号）：特開2011-108657
出願日： 2011年01月20日
公開日（公表日）： 2011年06月02日
要約：
【課題】ナノスケールの高分解能画像を得る。【解決手段】1以上の試料を特徴付けるための超高速システム(および方法)である。特徴付けられる試料を有するステージ組立部を含む。持続時間が1ピコ秒未満の光パルスを放射することができるレーザー源を有する。レーザー源に接続されたカソードを有し、特定の実施例において、カソードは1ピコ秒未満の電子パルスを放射することができる。ステージ上の試料に電子パルスの焦点を合わせられる電子レンズ組立部を有する。試料を通過する電子を捕らえる検出部を有する。検出部はプロセッサを有し、試料の構造を代表する試料を通過する電子に関連付けられた信号(たとえば、データ信号)を供給する。プロセッサは、試料の構造に関連付けられた情報を出力するために、試料を通過する関連付けられたデータ信号を処理し、出力デバイスに出力する。【選択図】図1A
請求項（抜粋）：
時間分解された画像を得ることができる透過型電子顕微鏡システムであって、
光子パルスを生産するレーザーと、
前記光子パルスを電子生成光子パルスと開始光子パルスとに分けるように適合されたビームスプリッタと、
前記電子生成光子パルスによって活性化されたことに応答して電子パルスを生産するように適合されたカソードと、
前記開始光子パルスと前記電子パルスとの間の時間遅延を導入するために適合された光遅延ステージと、
前記開始光子パルスおよび前記電子パルスによって照射された試料と、
前記電子パルスにより前記試料が照射されたことに反応して、前記試料の画像を生産する電子検出器と、
から構成される透過型電子顕微鏡システム。
IPC (4件)：
H01J 37/285
, G01N 23/04
, G01N 23/20
, H01J 37/26
H01J37/285
, G01N23/04
, G01N23/20
, H01J37/26
2G001AA03
, 2G001BA11
, 2G001BA18
, 2G001CA03
, 2G001GA12
, 2G001HA13
, 2G001KA01
, 2G001KA08
, 2G001KA12
, 5C033SS01
, 5C033SS02
, 5C033SS03
, 5C033SS04
, 5C033SS10
