ジルコニア薄膜の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外3名)
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-174437
公開番号（公開出願番号）：特開平3-040920
出願日： 1989年07月06日
公開日（公表日）： 1991年02月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】安定化剤を添加しない立方晶ジルコニア薄膜を500°C以上で熱処理することにより単斜晶ジルコニアを製造することを特徴とするジルコニア薄膜の製造方法。

IPC (2件)：