特許
J-GLOBAL ID：201103081935381880
動圧空気軸受型光偏向器、その回転体の加工方法および動圧空気軸受型光偏向器用部品のリサイクル方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石橋 佳之夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-366635
公開番号（公開出願番号）：特開2002-169119
特許番号：特許第4033283号
出願日： 2000年12月01日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 セラミック製回転スリーブの外側に金属製外周部材が焼きばめされるとともに上記金属製外周部材に複数のミラー面が形成されてなる回転体が、動圧空気軸受けで支持された動圧空気軸受型光偏向器において、
上記金属製外周部材に形成されたミラー面は軸方向の位置が上記セラミック製回転スリーブと重なるように配置され、
上記金属製外周部材には、上記ミラー面と上記セラミック製回転スリーブとの間に焼きばめ応力除去部が形成され、
上記セラミック製回転スリーブと上記金属製外周部材の焼きばめ部は、上記セラミック製回転スリーブの軸方向略全長に渡って焼きばめされ、
前記回転スリーブの内径を基準にして、前記金属製外周部材に前記ミラー面を加工する際の鏡面加工用基準面が形成されていることを特徴とする動圧空気軸受型光偏向器。
IPC (3件)：
G02B 26/12 ( 200 6.01)
, F16C 17/02 ( 200 6.01)
, F16C 33/08 ( 200 6.01)
G02B 26/10 102
, F16C 17/02 A
, F16C 33/08
