特許

J-GLOBAL ID：201103081976354862

ウェーハ搬送ロボット用のハンド、ウェーハ搬送ロボット及びウェーハ搬送装置

発明者： 小林 友和 ,  松村 泰秀 ,  大野 耕治 ,  大木 陽祐 ,  芝山 慧
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクコントロールシステムズ
代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-287180
公開番号（公開出願番号）：特開2011-125967
出願日： 2009年12月18日
公開日（公表日）： 2011年06月30日
要約：

【課題】ウェーハの搬送ハンドを小型、軽量化し、さらに1つのハンドで異なるウェーハ口径でも、ウェーハの撓みや位置ずれを生じさせない最適な吸着位置を選択してウェーハを保持し、ウェーハを目的位置に搬送することができるハンドを提供する。【解決手段】ウェーハを搬送するウェーハ搬送ロボットのアームに取り付けられ、ウェーハを吸着保持するための真空吸着穴が設けられたフォークを備えるウェーハ搬送ロボット用のハンドにおいて、フォークは、フォーク長手方向を回転軸として自転可能に設けられ、上面がウェーハを保持する保持面を構成し、各保持面には少なくとも1つの真空吸着穴が互いに異なる位置に設けられている構成とした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ウェーハを搬送するウェーハ搬送ロボットのアームに取り付けられ、ウェーハを吸着保持するための真空吸着穴が設けられたフォークを備えるウェーハ搬送ロボット用のハンドにおいて、 前記フォークは、フォーク長手方向を回転軸として自転可能に設けられ、上面が前記ウェーハを保持する保持面を構成し、各保持面には少なくとも1つの真空吸着穴が互いに異なる位置に設けられていることを特徴とするウェーハ搬送ロボット用のハンド。

IPC (2件)：

B25J 15/06 ,  H01L 21/677

FI (2件)：

B25J15/06 N ,  H01L21/68 A

Fターム (20件)：

3C007DS01 ,  3C007DS10 ,  3C007ES17 ,  3C007EV21 ,  3C007EW01 ,  3C007FS01 ,  3C007HT02 ,  3C007NS13 ,  3C707DS01 ,  3C707DS10 ,  3C707ES17 ,  3C707EV21 ,  3C707EW01 ,  3C707FS01 ,  3C707HT02 ,  3C707NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031GA08 ,  5F031PA16