光ディスク用スパッタ装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：清水善廣 , 阿部伸一 , 辻田幸史 , 田代作男 , 町田悦夫 , 打揚洋次
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-055493
公開番号（公開出願番号）：特開2001-240962
特許番号：特許第4378017号
出願日： 2000年03月01日
公開日（公表日）： 2001年09月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】真空処理室内に、ターゲットを備えたカソード及び該ターゲットの周囲を覆うアースシールドを取り付けたカソード取付フランジと、該ターゲットに対向する光ディスク基板を保持した基板ホルダーと、該基板ホルダーの周囲に設けた防着板が取り付けられたシートフランジを有するスパッタ装置に於いて、該基板ホルダーを円板状に形成してその背面に冷却水の循環通路を備えた冷却板を当接させ、該カソード取付フランジ及びシートフランジに夫々冷却水の循環通路を設けたことを特徴とする光ディスク用スパッタ装置。

IPC (2件)：

C23C 14/34 ( 200 6.01) , G11B 7/26 ( 200 6.01)

FI (3件)：

C23C 14/34 K , C23C 14/34 J , G11B 7/26 531

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