特許

J-GLOBAL ID：201103082149647783

ホウ化ランタンターゲットの製造方法

発明者： 森 暁 ,  小見山 昌三 ,  黛 良享
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-178833
公開番号（公開出願番号）：特開2011-032520
出願日： 2009年07月31日
公開日（公表日）： 2011年02月17日
要約：

【課題】ホウ化ランタンにより高密度のターゲットを製造する。【解決手段】ホウ化ランタン粉と、不活性ガス中の熱重量分析によって、500°Cに到達した時点における重量減少率が95重量%未満であるバインダと、有機溶媒とを混合して、ホウ化ランタン濃度が30〜75重量%のスラリーを調整し、このスラリーを噴霧乾燥した後、その乾燥粉を45〜250μmに分級することにより混合造粒粉とし、その混合造粒粉を真空中でホットプレスすることにより焼結体を得る。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

ホウ化ランタン粉と、不活性ガスの熱重量分析によって、500°Cに到達した時点における重量減少率が95重量%未満であるバインダと、有機溶媒とを混合して、ホウ化ランタン濃度が30〜75重量%のスラリーを調整し、このスラリーを噴霧乾燥した混合造粒粉を形成し、この混合造粒粉を真空中でホットプレスすることにより焼結体を得ることを特徴とするホウ化ランタンターゲットの製造方法。

IPC (3件)：

C23C 14/34 ,  C04B 35/58 ,  C04B 35/50

FI (5件)：

C23C14/34 A ,  C04B35/58 105A ,  C04B35/58 105S ,  C04B35/58 105Y ,  C04B35/50

Fターム (20件)：

4G001BA42 ,  4G001BB42 ,  4G001BC01 ,  4G001BC13 ,  4G001BC17 ,  4G001BC21 ,  4G001BC23 ,  4G001BC42 ,  4G001BC52 ,  4G001BD23 ,  4G001BD37 ,  4G001BE22 ,  4G001BE33 ,  4K029BA53 ,  4K029BD00 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC07 ,  4K029DC09 ,  4K029DC39