塩基発生剤、感光性樹脂組成物、当該感光性樹脂組成物からなるパターン形成用材料、当該感光性樹脂組成物を用いたパターン形成方法並びに物品

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：岸本達人 , 山下昭彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-215668
公開番号（公開出願番号）：特開2011-089119
出願日： 2010年09月27日
公開日（公表日）： 2011年05月06日
要約：

【課題】解像性に優れ、低コストで、塩基性物質によって又は塩基性物質の存在下での加熱によって最終生成物への反応が促進される高分子前駆体の構造上適用可能な選択肢の範囲が広い感光性樹脂組成物及びその様な感光性樹脂組成物に利用可能な塩基発生剤を提供する。【解決手段】特定の構造を有し、電磁波の照射と加熱により塩基を発生することを特徴とする塩基発生剤、並びに、当該塩基発生剤及び塩基性物質によって又は塩基性物質の存在下での加熱によって最終生成物への反応が促進される高分子前駆体を含有することを特徴とする、感光性樹脂組成物である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記化学式(1)で表わされ且つ電磁波の照射と加熱により、塩基を発生することを特徴とする、塩基発生剤。

IPC (7件)：

C09K 3/00 , G03F 7/038 , G03F 7/004 , C07C 235/34 , C07C 235/36 , C07D 295/10 , H01L 21/027

FI (7件)：

C09K3/00 K , G03F7/038 504 , G03F7/004 503Z , C07C235/34 , C07C235/36 , C07D295/10 Z , H01L21/30 502R

Fターム (28件)：

2H125AE08P , 2H125AE12P , 2H125AM66P , 2H125AM73P , 2H125AN21P , 2H125AN31P , 2H125AN32P , 2H125AN47P , 2H125AN68P , 2H125AN78P , 2H125AN84P , 2H125CA12 , 2H125CA15 , 2H125CA21 , 2H125CB05 , 2H125CC01 , 2H125CC11 , 4H006AA01 , 4H006AA03 , 4H006AB76 , 4H006AB92 , 4H006BJ20 , 4H006BJ50 , 4H006BN30 , 4H006BP10 , 4H006BP30 , 4H006BV53 , 4H006BV54

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