特許
J-GLOBAL ID：201103082219713274
現像液組成物
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 馨 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-117769
公開番号（公開出願番号）：特開2001-305748
特許番号：特許第3285340号
出願日： 2000年04月19日
公開日（公表日）： 2001年11月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 (A)水91.5ないし99.98重量%と、(B)アルカリ性化合物0.01ないし5重量%と、(C)下記一般式(1)で表される非イオン性界面活性剤0.01ないし3.5重量%とを含有する、感光性樹脂露光後パターン形成時に用いられる現像液組成物。;;化1::〔式中、R1,R2,R3,R4,R5は、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基、アリール基、アラルキル基、ハロゲン原子を示し、R1,R2,R3,R4,R5の中の少なくとも2つはアラルキル基及び/又はアリール基を示す。R6はエチレン基、プロピレン基、ブチレン基を示し、R7は水素原子、アセチル基、アルキル基、アリール基を示し、nは6〜23の整数を示す。〕
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 7/32
, H01L 21/30 569 E
