特許
J-GLOBAL ID：201103082266316798
振動片の製造方法、振動片、振動子、発振器及び携帯用電話装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-059047
公開番号（公開出願番号）：特開2002-261558
特許番号：特許第3975681号
出願日： 2001年03月02日
公開日（公表日）： 2002年09月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 水晶を所定のカットアングルで切り出して、基部と前記基部から突出して形成されている振動腕部とを形成する工程と、
前記振動腕部の表面部及び/又は裏面部に溝部を形成する工程と、
前記振動腕部の側面部及び前記溝部に励振電極を形成する工程とを有する振動片の製造方法であって、
該水晶が切り出された前記カットアングルと、カットアングル毎の振動片の溝深さと周波数温度特性の頂点温度との対応関係のデータとに基づいて、前記カットアングルの振動片における周波数温度特性の頂点温度が所望の温度となるように、前記溝部の深さを変化させることにより、該振動片の周波数温度特性を調整してなることを特徴とする振動片の製造方法。
IPC (6件)：
H03H 3/02 ( 200 6.01)
, H01L 41/08 ( 200 6.01)
, H01L 41/09 ( 200 6.01)
, H03H 3/04 ( 200 6.01)
, H03H 9/19 ( 200 6.01)
, H03H 9/215 ( 200 6.01)
H03H 3/02 D
, H01L 41/08 Z
, H01L 41/08 C
, H01L 41/08 U
, H03H 3/04 C
, H03H 9/19 J
, H03H 9/215
