表面乾燥処理方法および装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本秀策
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-306351
公開番号（公開出願番号）：特開平3-169013
出願日： 1989年11月24日
公開日（公表日）： 1991年07月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】水洗流体内に完全に浸漬された物体の表面を乾燥させる方法であって、乾燥蒸気を供給して、前記水洗流体を乾燥蒸気で置換後に、液滴が前記物体の表面に実質的に残らず、また、水洗流体または乾燥蒸気が液滴の蒸発により実質的に除去されないような、十分に遅い水洗流体の乾燥蒸気による置換速度で、水洗流体を前記物体の表面から直接置換することにより水洗流体を乾燥蒸気で置換する工程を包含する表面乾燥処理方法。

IPC (2件)：