特許
J-GLOBAL ID：201103082379613950
メッシュ張り替え方法およびプロセスデバイス合体シミュレ-ションシステム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-193458
特許番号：特許第3026807号
出願日： 1999年07月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 プロセスシミュレーションでの材質およびメッシュ形状をデバイスシミュレーションでの使用に適した材質およびメッシュ形状に変換するメッシュ張り替え方法であって、プロセスシミュレーションとデバイスシミュレーションを連続実行する際にデバイスシミュレーションのメッシュを確定する第1の工程と、前記第1の工程でのデバイスシミュレーションのメッシュ確定後に当該デバイスシミュレーション用の矩形メッシュで囲まれる要素を同一形状のブロックに分割する第2の工程と、前記第2の工程で分割した各ブロックの重心が属する材質をプロセスシミュレーションに用いる材質にかかるデータから検索する第3の工程と、前記第2の工程で分割した各ブロックの重心が属する材質の中で最も多数のブロックを占有する材質を前記第3の工程での検索結果を基に選び出す第4の工程と、前記第4の工程で当該選出した最も多数のブロックを占有する材質をデバイスシミュレータの該当要素の材質として選択する第5の工程と、前記第1の工程乃至前記第5の工程をデバイスシミュレーションで用いる全ての要素について実行しプロセスシミュレーションで用いた材質およびメッシュ形状をデバイスシミュレーションでの使用に適した材質およびメッシュ形状に変換する第6の工程を有することを特徴とするメッシュ張り替え方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G06F 15/60 612 J
, H01L 29/00
